便攜式明渠流量計(jì)|便攜式水質(zhì)自動(dòng)采樣器|水質(zhì)檢測(cè)儀
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更新日期2023-04-20 15:12
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半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀是一種用于物理學(xué)、信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、材料科學(xué)、機(jī)械工程領(lǐng)域的儀器。
一、半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀的SLM+PLM組合光學(xué)架構(gòu)介紹：
（1）基于高精度DMD的SLM空間光調(diào)制激光直寫和PLM相位調(diào)制
?。?）頻閃平鋪光斑曝光FlashTileBeamLithography(FTBL)
?。?）支持500nm分辨率的任意圖形和100nm的特征圖形光刻
?。?）運(yùn)行效率比傳統(tǒng)采用Scanning的激光直寫系統(tǒng)提高數(shù)倍以上
?。?）多寫入模式（頻閃光斑平鋪曝光、灰度曝光、拖曳掃描和矢量掃描）的選擇能夠針對(duì)
二、半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀的不同的應(yīng)用需求優(yōu)化圖形與微結(jié)構(gòu)的性能：
（1）海量數(shù)據(jù)處理和全尺寸覆蓋
?。?）最大支持110"數(shù)據(jù)處理
?。?）SLM空間光調(diào)制，數(shù)據(jù)處理速率達(dá)30000幀/秒
（4）PLM位相調(diào)制，數(shù)據(jù)處理速率達(dá)30000幀/秒可以滿足2"-110"基板的直寫光刻
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