真空裝置由許多不同的零件組成，它們都是經(jīng)過各種機(jī)械加工完成的，如車、銑、刨、磨、銼、等。這樣，零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空設(shè)備的限真空。此外，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環(huán)境中，這些氣體也要被釋放出來。構(gòu)成了真空設(shè)備真空的因素。為此，零件組裝前掉污染物。

真空裝置使用過程中，零件還會受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關(guān)。如真空干燥系統(tǒng)，經(jīng)常使用后會受到蒸發(fā)出來的物質(zhì)的污染;真空鍍膜機(jī)的內(nèi)壁會被蒸鍍材料污染;離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被工件濺射的濺散物污染;真空中的電子槍的燈絲，由于高溫蒸發(fā)會使其附近表面形成金屬膜;規(guī)管燈絲在高溫下蒸發(fā)，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強(qiáng)度，影響測量的準(zhǔn)確性。真空系統(tǒng)中的機(jī)械泵油和擴(kuò)散泵油更是污染源，設(shè)備長期工作后會使設(shè)備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣會影響設(shè)備的性能，應(yīng)注意隨時。

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