臺階儀dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規(guī)格： 
測試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，usb；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（lis 3）
探針壓力：使用lis 3傳感器：1至15 mg
使用n-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動x/y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動校平；
可選y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選x-y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計算機系統(tǒng)：主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應(yīng)力測量軟件
可選三維vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點zui多12萬數(shù)據(jù)點
zui大樣品厚度高達90 mm （4英寸），取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標準524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：zui大1a（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120vac/200-240vac, 50-60 hz
無論是用于科學研究還是工業(yè)生產(chǎn)，dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)性能，zui高的測量重復性以及zui大的掃描范圍。dektak 150集四十多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于一身，為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質(zhì)材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度，并降低了地板噪音對測量的干擾?；趙indows?xp的軟件用戶界面，使用戶迅速掌握dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡便的一鍵"進針即測量"，到多次掃描結(jié)果的自動分析。通過選配三維成像附件套裝還可以*地擴充儀器的功能。